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勻膠機(jī)又稱旋涂機(jī)，是半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、微電子、PCB光刻、MEMS微加工領(lǐng)域核心工藝設(shè)備。核心工作原理為依靠高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力，將光刻膠、感光樹脂、鍍膜溶液均勻涂布在晶圓、玻璃基板、光學(xué)鏡片表面，形成厚度均勻、一致性優(yōu)異的薄膜涂層，廣泛用于...